Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01
Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01