Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.01
Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.01