На главную
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантированных слоях кремния : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантированных слоях кремния : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10
32 с.
Российская Национальная Библиотека
Полное библиографическое описание
-
100% от первой страницы документа
-
Произвольный отрывок, составляющий 25% документа
Открыть в мобильном приложении