Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 01.04.14
Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 01.04.14