Физико-химические особенности внешних воздействий на формирование и свойства полупроводниковых тонкопленочных гетерокомпозиций : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 02.00.04
Физико-химические особенности внешних воздействий на формирование и свойства полупроводниковых тонкопленочных гетерокомпозиций : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 02.00.04