Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06