Массо- и теплоперенос при осаждении металлических пленок в плазме СВЧ-ЭЦР-разряда : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук : спец. (01.04.14)

Заглавие:Массо- и теплоперенос при осаждении металлических пленок в плазме СВЧ-ЭЦР-разряда : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук : спец. (01.04.14)

Физическое описание:41 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа