Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.27.06

Заглавие:Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. 05.27.06

Физическое описание:22 c.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа