Получение твердых растворов (SiC)1-x(AIN)x методом магнетронного распыления и исследование их свойств : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : спец. (01.04.10)

Заглавие:Получение твердых растворов (SiC)1-x(AIN)x методом магнетронного распыления и исследование их свойств : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : спец. (01.04.10)

Физическое описание:18 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа