Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. (05.13.06)

Заглавие:Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : спец. (05.13.06)

Физическое описание:16 c.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа