Особенности распределения компонентов в наноразмерных структурах, выявление методом вторично-ионной масс-спектометрии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Заглавие:Особенности распределения компонентов в наноразмерных структурах, выявление методом вторично-ионной масс-спектометрии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Физическое описание:20 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа