На главную
Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : спец. (02.00.21)
Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : спец. (02.00.21)
35 с.
Российская Национальная Библиотека
Полное библиографическое описание
-
100% от первой страницы документа
-
Произвольный отрывок, составляющий 25% документа
Открыть в мобильном приложении