На главную

Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : спец. (02.00.21)

Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : спец. (02.00.21)

35 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении