Автоматическая стабилизация параметров рапределения мощности электронного пучка с целью обеспечения качества покрытий, наносимых методом электроннолучевого испарения : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.13.06

Заглавие:Автоматическая стабилизация параметров рапределения мощности электронного пучка с целью обеспечения качества покрытий, наносимых методом электроннолучевого испарения : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.13.06

Физическое описание:16 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа