Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : спец. 05.27.01

Заглавие:Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : спец. 05.27.01

Физическое описание:39 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа