Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.01
Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.01