Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полиимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.02.01

Заглавие:Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полиимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.02.01

Физическое описание:22 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа