На главную

Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : автореф. дис. на соиск. уч. степ. к. т. н. : специальность 01.04.13 <Электрофизика, электрофизические установки>

Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : автореф. дис. на соиск. уч. степ. к. т. н. : специальность 01.04.13 <Электрофизика, электрофизические установки>

22 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении