Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : автореф. дис. на соиск. уч. степ. к. т. н. : специальность 01.04.13 <Электрофизика, электрофизические установки>
Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : автореф. дис. на соиск. уч. степ. к. т. н. : специальность 01.04.13 <Электрофизика, электрофизические установки>