Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>