Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади : автореф. дис. на соиск. уч. степ. д. т. н. : специальность 05.27.02 <Вакуумная и плазменная электроника>
Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади : автореф. дис. на соиск. уч. степ. д. т. н. : специальность 05.27.02 <Вакуумная и плазменная электроника>