Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>