На главную

Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

19 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении