Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.02 <Вакуумная и плазменная электроника>
Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.02 <Вакуумная и плазменная электроника>