Исследование закономерностей изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 05.11.13 <Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий>

Заглавие:Исследование закономерностей изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 05.11.13 <Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий>

Физическое описание:30 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа