Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>
Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>