Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>

Заглавие:Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>

Физическое описание:16 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа