Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>
Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>