На главную

Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>

Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>

16 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении