Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике" : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 <Физика конденсированного состояния>
Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике" : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 <Физика конденсированного состояния>