Повышение эффективности управления технологическим процессом формирования структур интегральных элементов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.06 <Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами по отраслям>
Повышение эффективности управления технологическим процессом формирования структур интегральных элементов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.06 <Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами по отраслям>