Разработка и оптимизация конструктивных и технологических решений туннельных нанопреобразователей : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах> : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Заглавие:Разработка и оптимизация конструктивных и технологических решений туннельных нанопреобразователей : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах> : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Физическое описание:26 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа