Разработка и оптимизация конструктивных и технологических решений туннельных нанопреобразователей : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах> : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Разработка и оптимизация конструктивных и технологических решений туннельных нанопреобразователей : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах> : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники