Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>

Заглавие:Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>

Физическое описание:33 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Копирование:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа