Поток высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах взаимодействия с поверхностью материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.02.05 <Механика жидкости, газа и плазмы>
Поток высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах взаимодействия с поверхностью материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.02.05 <Механика жидкости, газа и плазмы>