Исследование процесса восстановления монооксида кремния в плазме дугового разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>
Исследование процесса восстановления монооксида кремния в плазме дугового разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>