Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>

Заглавие:Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>

Физическое описание:16, [1] с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа