Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.05 <Оптика>

Заглавие:Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.05 <Оптика>

Физическое описание:19 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа