Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.05 <Оптика>
Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.05 <Оптика>