Физико-химические основы низкотемпературного осаждения карбидов вольфрама и их композиций из летучих фторидов при пониженных давлениях : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. х. н. : специальность 02.00.04 <Физическая химия>
Физико-химические основы низкотемпературного осаждения карбидов вольфрама и их композиций из летучих фторидов при пониженных давлениях : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. х. н. : специальность 02.00.04 <Физическая химия>