Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

Заглавие:Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

Физическое описание:30 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа