На главную

Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким "e", полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким "e", полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

24 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении