Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким "e", полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Заглавие:Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким "e", полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Физическое описание:24 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа