На главную

Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

45 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении