Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>