Разработка теоретических основ и методики проектирования электростатических МЭМП механической энергии в электрическую : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Заглавие:Разработка теоретических основ и методики проектирования электростатических МЭМП механической энергии в электрическую : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Физическое описание:29 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа