Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>