На главную

Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

19 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении