На главную

Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>

Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>

25 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении