Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>
Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>