Разработка и исследование технологических основ формирования легированных пленок диоксида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Разработка и исследование технологических основ формирования легированных пленок диоксида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>