На главную

Разработка и исследование технологических основ формирования легированных пленок диоксида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Разработка и исследование технологических основ формирования легированных пленок диоксида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

47 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении