Совершенствование технологии выращивания полупроводниковых гетероструктур методом МОС-гидридной эпитаксии на основе программного комплекса : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.01 <Системный анализ, управление и обработка информации по отраслям>
Совершенствование технологии выращивания полупроводниковых гетероструктур методом МОС-гидридной эпитаксии на основе программного комплекса : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.01 <Системный анализ, управление и обработка информации по отраслям>