Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.17.01 <Технология неорганических веществ>

Заглавие:Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.17.01 <Технология неорганических веществ>

Физическое описание:21 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа