Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>