На главную

Устройства со скрещенными электрическими и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.02 <Вакуум. и плазм. электроника>

Устройства со скрещенными электрическими и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.02 <Вакуум. и плазм. электроника>

21 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении