Устройства со скрещенными электрическими и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.02 <Вакуум. и плазм. электроника>

Заглавие:Устройства со скрещенными электрическими и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.02 <Вакуум. и плазм. электроника>

Физическое описание:21 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа