Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 02.00.04
Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 02.00.04