Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук : специальность 01.04.04 <Физ. электроника>

Заглавие:Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук : специальность 01.04.04 <Физ. электроника>

Физическое описание:37 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа