На главную
Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 02.00.04
Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 02.00.04
17 с.
Российская Национальная Библиотека
Полное библиографическое описание
-
100% от первой страницы документа
-
Произвольный отрывок, составляющий 25% документа
Открыть в мобильном приложении