Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.06
Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.06