Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д.т.н. : специальность 01.04.10

Заглавие:Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д.т.н. : специальность 01.04.10

Физическое описание:64, [1] с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа