Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>
Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>